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重結晶碳化硅的組成是什么樣的呢?

時間:2018/11/1 17:38:22 點擊:907次
重結晶碳化硅是由碳原子和硅原子所組成的,利用了離子注入摻雜技術將碳原子注入到單晶硅內(或者也可以稱為滲碳),便可以獲得優良的立方晶體結構的重結晶。隨著摻雜濃度的差別,所獲得的晶體結構也就不同,可以表示為p—SiC,p表示的就是不同形態的晶體結構。 用離子注入法可以獲得的SiC材料,自身的物理、化學及電學性能都很良好,而且具有高強度、大硬度、殘余應力低、化學惰性極強、較寬的禁帶寬度(基本是硅的2倍),高的熱導率(基本是硅的3倍),以及比較高的壓阻系數。因此,重結晶材料具有在高溫下耐腐蝕、抗輻射和穩定的電學性質,非常適合在這些特殊環境下工作的微納級系統所選擇使用。

文章來源于:http://infos-matin.com/problemShow-2740.html

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